绿色镀膜用磁控溅射电源的设计与实现

作     者：马腾飞 魏宗寿 董绪伟 

作者机构：国家绿色镀膜技术与装备工程技术研究中心甘肃兰州730070 

基　　金：2007年度国家重点新产品计划立项项目(2007GRG10004)~~ 

出 版 物：《电力电子技术》 (Power Electronics)

年 卷 期：2010年第44卷第4期

页      码：66-68页

摘      要：传统的化学电镀技术在生产过程中会产生大量的三废污染,而绿色镀膜技术可以很好地解决该问题。磁控溅射镀膜是绿色镀膜技术中的重要环节。针对大型绿色真空镀膜设备,介绍了一种大功率绿色镀膜用磁控溅射电源的设计方法,描述了电源控制算法,通过部分电路图和波形图介绍了主电路设计、开关管的并联和高频整流滤波电路等几个问题;同时给出了设计高频变压器的过程和方法。该电源已用于实际生产中,且运行效率高,工作可靠。

主 题 词：磁控溅射电源 绿色镀膜 滑模控制 高频变压器 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 081001[081001] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-100X.2010.04.027

馆 藏 号：203779786...