液相外延系统中高指标热场的实现

作     者：袁章其 罗卫国 蒲勇 

作者机构：信息产业部电子第48研究所长沙410111 

基　　金：国家"8 6 3"基金资助项目!(86 3 715 Z34 0 1) 

出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)

年 卷 期：2000年第3期

页      码：70-74页

摘      要：高精度、高稳定性、高降温速率的热场 ,是液相外延设备研制中的关键技术之一。介绍了热场的结构设计、炉温的控制及调试结果。

主 题 词：热场 液相外延系统 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203780970...