面向半导体废水回用处理的MBR-RO组合工艺可行性

作     者：肖燕 陈彤 胡永健 韩永萍 林亚凯 王晓琳 Xiao Yan;Chen Tong;Hu Yongjian;Han Yongping;Lin Yakai;Wang Xiaolin

作者机构：清华大学化学工程系膜材料与工程北京市重点实验室100084 北京赛诺水务科技有限公司100083 北京联合大学生物工程学院100023 北京赛诺膜技术有限公司北京100083 

基　　金：国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2009CB623401) 国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2009AA062901,2012AA03A604) 北京市自然科学基金重大项目(2100001) 

出 版 物：《水处理技术》 (Technology of Water Treatment)

年 卷 期：2013年第39卷第2期

页      码：102-106,111页

摘      要：半导体废水水质复杂,污染物种类繁多,经过初级物化处理后,仍含大量悬浮物、有机物和无机盐,亟待有效处理并回用。本工作采用MBR-RO中试装置深度处理半导体废水,考察该工艺实现废水回用的可行性。试验结果表明,MBR-RO系统表现出良好的污染物去除效果和运行稳定性,可以耐受废水水质波动的范围大。MBR运行稳定,膜的渗透性易于恢复,维护性清洗周期较长(大于16 d)。MBR出水已检测不到SS,其SDI15和COD的平均值分别为2.3和10.6 mg/L,水质满足RO进水设计要求。采用HCl调节RO进水pH,同时投加阻垢剂MAS208A有助于减缓RO膜污染。RO出水水质优良,电导率为26～142μS/cm,TOC质量浓度小于0.2 mg/L,符合生产回用水要求,表明MBR-RO组合工艺实现半导体废水回用是可行的。

主 题 词：半导体废水 回用 MBR RO 可行性 

学科分类：083002[083002] 0830[工学-生物工程类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-3770.2013.02.025

馆 藏 号：203781053...