基于MEMS技术可植入微压力传感器的检测电路设计(英文)

作     者：彭广彬 刘景全 王龙飞 柴欣 

作者机构：上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240 上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 

基　　金：supported by the National Natural Science Foundation of China(No.51035005) the Program for New Century Excellent Talents inUniversity(2009) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2013年第11卷第1期

页      码：90-95页

摘      要：为实现体内压力(如:血压、颅内压等)的实时监测,采用微机电系统(MEMS)技术制造出植入式微压力传感器.由于它是电容式传感器,在信号读取系统中,首先通过集成电路CAV414将电容信号转换为电压信号.通过理论计算和实际试验测试,微压力传感器初始电容值为15 ***414检测范围是10 pF^2 nF,检测精度为电容初始值的5%,因此在该系统中可检测到的电容最小变化量为0.75 pF,其输出电压范围为0~5 V,该电压信号可以直接作为模拟/数字转换器(ADC)的输入信号.选用ADC0809实现模拟信号向数字信号的转换.ADC0809为一款8通道8位模数转换器,通过FPGA实现对ADC0809的驱动控制.ADC0809的8位输出信号直接作为数字信号的输入,在本文试验中数字信号处理通过FPGA编程实现.

主 题 词：植入式压力传感器 MEMS 微电容测试电路 聚对二甲苯 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.13494/j.npe.2013.017

馆 藏 号：203781055...