基于单片机的磁控溅射稳压开关电源设计

作     者：周志文 马安仁 ZHOU Zhiwen;MA Anren

作者机构：西北民族大学电气工程学院兰州730124 

基　　金：西北民族大学中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(31920130013) 

出 版 物：《工业仪表与自动化装置》 (Industrial Instrumentation & Automation)

年 卷 期：2014年第1期

页      码：106-108页

摘      要：磁控溅射真空镀膜技术与传统的化学电镀技术相比,具有环保、降耗、减排等优点,磁控电源是这种镀膜装置的关键部件之一。该文研究和设计了以高频开关电源技术为基础的高效率、大功率磁控稳压电源。文中介绍了主电路、控制电路的原理设计,用Matlab仿真软件搭建了电路模型,并进行了仿真实验,在此基础上完成了硬件电路、软件程序设计。通过AT89C51单片机实现了在不同工作方式下电源输出电压和电流的调节。实际应用证明该电源具有恒流控制效果好,可靠性高,工作稳定等优点。

主 题 词：磁控溅射 开关电源 镀膜 SG3525 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0835[0835] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-0682.2014.01.033

馆 藏 号：203781503...