石英谐振加速度传感器芯片设计与仿真

作     者：韩超 赵玉龙 李村 HAN Chao;ZHAO Yu-long;LI Cun

作者机构：西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 

基　　金：国家自然科学基金(编号:51805424) 陕西省重点研发计划(编号:2018ZDCXL-GY-02-03) 中央高校基本科研业务费专项 

出 版 物：《导航与控制》 (Navigation and Control)

年 卷 期：2019年第18卷第4期

页      码：65-70页

摘      要：分体式石英谐振加速度传感器在性能提升上受到装配误差等因素的影响较大,故提出一种全石英谐振加速度计芯片结构,包括下层的硅结构和上层的石英结构。下层的硅基底仅作为支撑结构进行加工制作,敏感单元为全石英材料,硅结构与石英结构键合到一起,结构加工完成后去除硅材料,以释放石英敏感单元。整体结构为中心对称,包括质量块、音叉结构、微杠杆结构和应力分配梁,芯片通过微杠杆结构来增大传感器的灵敏度,并通过应力分配梁使石英音叉两根振梁上的内应力均匀一致。通过仿真验证了设计的有效性,仿真的差动灵敏度为35Hz/g。

主 题 词：加速度计 石英 微杠杆 应力分配梁 差动 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080202[080202] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-5558.2019.04.010

馆 藏 号：203781577...