一种解耦硅MEMS陀螺结构优化及性能仿真

作     者：王奕奕 周震 WANG Yiyi;ZHOU Zhen

作者机构：北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院 

基　　金：装备预研领域基金项目(61405170103) 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2019年第40卷第5期

页      码：610-614,648页

摘      要：以高机械灵敏度为设计目标,对一种解耦硅MEMS陀螺进行了结构优化,并利用有限元分析软件ANSYS对该MEMS陀螺进行了模态、应力、位移、抗过载及谐响应仿真分析,确定并验证了高灵敏度MEMS陀螺的结构优化原则。优化后的硅MEMS陀螺驱动和检测模态谐振频率分别为3700与3718Hz,机械灵敏度可达0.95nm/(°/s),能够承受500g的冲击载荷,并且能够实现驱动模态和检测模态解耦。

主 题 词：MEMS陀螺 ANSYS仿真 有限元分析 机械解耦 结构优化 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.16818/j.issn1001-5868.2019.05.002

馆 藏 号：203782306...