用光刻工艺制作高密度基因芯片的研究

作     者：贺训军 王春生 阎玉清 殷景华 高昆 星星 

作者机构：哈尔滨理工大学应用科学学院黑龙江哈尔滨150080 哈尔滨工业大学航天学院黑龙江哈尔滨150001 哈尔滨基太生物芯片开发有限责任公司黑龙江哈尔滨150090 

基　　金：哈尔滨市科技攻关计划项目(2001AA3CS072) 

出 版 物：《哈尔滨理工大学学报》 (Journal of Harbin University of Science and Technology)

年 卷 期：2003年第8卷第4期

页      码：113-115页

摘      要：利用集成电路中的光刻工艺,以玻璃为衬底,制作了高密度基因芯片,它能将数以万计 的寡核苷酸固定于固相支持物,且具有高通量、并行性、微型化及自动化等特点.

主 题 词：光刻工艺 密度 基因芯片 寡核苷酸 亚磷酰胺核苷 DNA微阵列 Linker 版图设计 掩膜版 

学科分类：0710[理学-生物科学类] 080903[080903] 07[理学] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 09[农学] 071007[071007] 0901[农学-植物生产类] 0836[0836] 090102[090102] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-2683.2003.04.034

馆 藏 号：203782912...