基于太赫兹波的高分辨率空间电荷测试方法及系统

作     者：张颖 李悠 王暄 Zhang Ying;Li You;Wang Xuan

作者机构：哈尔滨理工大学电介质工程国家重点实验室培育基地哈尔滨150080 哈尔滨电工仪表研究所哈尔滨150028 

基　　金：国家自然科学基金(51575149) 哈尔滨市科技创新人才(2016RAQXJ025)项目资助 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2019年第40卷第6期

页      码：9-15页

摘      要：空间电荷的特性及分布状态直接改变介质内部电场的强弱,严重影响器件的电学性能。近年来,纳米材料和微纳电子器件飞速发展,在纳米量级乃至更小尺度上探测和掌握空间电荷的特征信息成为亟待解决的问题。为此基于脉冲电声法基本原理,设计并实现了一种基于太赫兹波和弹光取样技术的空间电荷分布测试新方法。基于应力双折射效应原理,设计制作了弹光取样传感器,并测试了性能。搭建了空间电荷测试系统,对定制硅PN结试样进行了测试,空间电荷区宽度随偏置电压的变化规律与PN结基本电学特性吻合。该方法采用全光学技术手段,克服了传统电子测试技术对系统带宽的限制,实验结果表明,该测试方法可以有效且可靠地将空间电荷测试分辨率提升至纳米量级。

主 题 词：空间电荷 太赫兹波 分辨率 纳米量级 弹光取样传感器 

学科分类：080802[080802] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0703[理学-化学类] 

核心收录：

D　O　I：10.19650/j.cnki.cjsi.J1905092

馆 藏 号：203785791...