新型高精密真空扩散焊炉的研制及应用

作     者：唐榕 王承章 张吉峰 TANG Rong;WANG Cheng-zhang;ZHANG Ji-feng

作者机构：北京真空电子技术总公司北京100015 

出 版 物：《真空电子技术》 (Vacuum Electronics)

年 卷 期：2012年第25卷第1期

页      码：60-63页

摘      要：本文介绍了新型高精密真空扩散焊炉的工艺原理及技术特点,并以一台已经研制成功的新型高精密真空扩散焊炉为例,详细阐述了该设备的相关设计思路及特点。该设备采用伺服电机拖动丝杠加压技术,并通过闭环控制实现了工艺过程的自动控制,具有压力精度高、控制灵活、生产效率高、清洁可靠等优点。

主 题 词：真空扩散焊炉 电伺服 压力装置 闭环控制 高精密 

学科分类：08[工学] 081201[081201] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-8935.2012.01.012

馆 藏 号：203789161...