ErAlN/蓝宝石基SAW谐振器制备与性能研究

作     者：张必壮 葛澍蔚 许绍俊 杨成韬 ZHANG Bizhuang;GE Shuwei;XU Shaojun;YANG Chentao

作者机构：电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室四川成都610054 川庆钻探工程有限公司地质勘探开发研究院四川成都610051 

基　　金：中央高校基本科研业务费专项基金资助项目(ZYGX2018J027) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2019年第41卷第5期

页      码：631-634,638页

摘      要：采用Er镶嵌靶,以射频(RF)反应磁控溅射法,在蓝宝石衬底上制备出了c轴取向的Er 0.11 Al 0.89 N z压电薄膜。运用正交设计实验优化后,Er 0.11 Al 0.89 N z薄膜的膜厚、表面粗糙度分别为1.20μm和1.0 nm,光学介电常数从4.19增大到4.29。Er 0.11 Al 0.89 N z/蓝宝石基声表面波(SAW)谐振器的中心频率和品质因数Q值相较于纯AlN降低,有效机电耦合系数比AlN z/蓝宝石基SAW谐振器提高了20%,达到1.80%。研究结果表明,Er掺杂AlN后晶格常数比值c/a基本保持不变,但晶体中离子键成分的上升使晶体结构软化,从而导致器件频率下降,有效机电耦合系数增加。

主 题 词：镶嵌靶 ErAlN压电薄膜 声表面波(SAW)谐振器 有效机电耦合系数 晶体结构软化 

学科分类：080903[080903] 1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080202[080202] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2019.05.004

馆 藏 号：203791134...