四探针法测试半导体掺杂浓度的实验研究

作     者：王蕊 牛立刚 贺媛 李昕 纪永成 郭文滨 WANG Rui;NIU Ligang;HE Yuan;LI Xin;JI Yongcheng;GUO Wenbin

作者机构：吉林大学电子科学与工程学院 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61674066 61875072) 

出 版 物：《吉林大学学报（信息科学版）》 (Journal of Jilin University（Information Science Edition）)

年 卷 期：2019年第37卷第5期

页      码：507-511页

摘      要：为了解决半导体掺杂浓度的测试问题,需要采用简单易行的方法对半导体进行测试。在微电子技术领域,四探针技术一直是测量电阻率的常用方法。结合吉林大学在半导体器件物理与实验精品课程的建设,以训练学生对半导体物理学专业知识的理解和掌握,笔者对四探针法测试半导体掺杂浓度进行了实验研究。通过建立半无限大和无限薄层两个理论模型,对不同厚度半导体材料的电阻率测试方法进行了实验研究,并对原理进行了讨论。为了解决商用测试设备昂贵且无法满足实验教学需求的问题,笔者提出自制实验测试装置,采用钨合金的简易手动探针台,并根据实验需要自行设计了四探针测试架。实践应用表明:四探针测试系统的建立可以完成测量半导体掺杂浓度的任务,满足了半导体物理实验的教学需求,取得了较好的教学效果。

主 题 词：四探针测量法 电阻率 掺杂浓度 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-5896.2019.05.008

馆 藏 号：203793000...