控制力精密抛光装置的设计与实验研究

作     者：史兴宽 杨健 任敬心 SHI Xing-kuan;YANG Jian;REN Jing-xing

作者机构：西北工业大学精密超精密加工研究室 

基　　金：航空科学基金 

出 版 物：《光学技术》 (Optical Technique)

年 卷 期：1999年第25卷第4期

页      码：68-69页

摘      要：本文设计并研制了一套可控制抛光作用力的精密抛光装置，该装置具有抛光作用力微调功能及显示功能。用该装置对Ｚｅｒｏｄｕｒ陶瓷玻璃进行控制力抛光实验，稳定地获得了具有纳米级及亚纳米级表面粗糙度的超光滑表面，将该装置与机械化学抛光方法结合使用，可高效地加工出表面无损伤的超光滑基片。

主 题 词：控制力抛光 抛光装置 超光滑表面 设计 光学表面 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1002-1582.1999.04.005

馆 藏 号：203795244...