光刻物镜恒温水套的小比例模型实验设计

作     者：袁文全 巩岩 张巍 王学亮 赵磊 倪明阳 YUAN Wen-quan;GONG Yan;ZHANG Wei;WANG Xue-liang;ZHAO Lei;NI Ming-yang

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：2011年第38卷第1期

页      码：60-65页

摘      要：为了进行光刻物镜恒温水套先期设计分析,采用相似性原理设计了一个恒温水套的小比例模型实验,并采用数值仿真的办法,证明了该小比例模型实验设计方法的正确性。首先根据恒温水套的结构形式给出了传热控制方程。接着对各控制方程进行分析,得出了稳定传热情况下模型实验设计的相似准则。然后根据相似准则设计了一个光刻物镜恒温水套的1:4小比例模型。最后通过数值仿真分析了1:4小比例模型及原型上的热场分布,计算结果表明它们之间的热场分布具有相似性。结论表明:在进行光刻物镜恒温水套小比例模型的稳定传热实验设计时,需要满足几何相似、雷诺数相似、普朗特数相似、毕奥数相似及边界条件相似。

主 题 词：光刻 比例模型 相似准则 数值传热分析 热分布 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-501X.2011.01.012

馆 藏 号：203795370...