基于三维有限元模型的微测辐射热计TCR及电学性能研究

作     者：陈超 马加锋 蒋亚东 王涛 CHEN Chao;MA Jiafeng;JIANG Yadong;WANG Tao

作者机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室成都610054 

基　　金：国家自然科学基金项目(61235006 61421002) 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2015年第36卷第6期

页      码：895-900页

摘      要：微测辐射热计结构的电阻温度系数（TCR）及其电阻值对非致冷红外焦平面探测器的性能有极大影响。基于精确的微测辐射热计三维模型,采用热电偶合有限元方法,分析了其电学特性,针对所建立模型,加载0.5～10μA的直流偏置电流,得到各偏置下的温度及电势相应特性,并由此获取了不同温度下结构的电阻值,进而推导出一定温度内整个模型的TCR,从而为后端读出电路的设计提供参考。最后对实际制备的器件进行测试,验证了该方法的可靠性。

主 题 词：微测辐射热计 有限元分析 电阻温度系数 热电耦合场分析 电学特性 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.16818/j.issn1001-5868.2015.06.009

馆 藏 号：203797793...