超精密装置PID振动控制系统的仿真研究

作     者：陈亚良 傅龙珠 梅德庆 陈子辰 

作者机构：浙江大学现代制造工程研究所浙江杭州310027 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50075078) 

出 版 物：《工程设计学报》 (Chinese Journal of Engineering Design)

年 卷 期：2003年第10卷第1期

页      码：15-19页

摘      要：在仿生啄木鸟头部独特生物构造和隔振机理的基础上,采用主动隔振技术建立了超精密装置隔振系统结构及动力学模型.结合超精密装置隔振系统的结构特点和性能要求,采用闭环PID主动控制系统,用Matlab软件进行了仿真分析.仿真分析结果表明,该振动控制系统宽频率范围内具有良好的减振效果,该系统可应用于超精密测量、超精密制造设备的隔振领域.

主 题 词：超精密装置 仿生学 主动振动控制 PID控制 隔振系统 啄木鸟 头部构造 Matlab软件 振动控制系统 仿真 

学科分类：12[管理学] 083002[083002] 1204[管理学-公共管理类] 0830[工学-生物工程类] 120402[120402] 08[工学] 080203[080203] 0837[0837] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3785/j.issn.1006-754X.2003.01.004

馆 藏 号：203802065...