硅各向异性腐蚀技术研究

作     者：李倩 崔鑫 李湘君 LI Qian;CUI Xin;LI Xiang-jun

作者机构：中国电子科技集团公司第四十七研究所沈阳110032 

出 版 物：《微处理机》 (Microprocessors)

年 卷 期：2012年第33卷第6期

页      码：12-13,19页

摘      要：针对两种补偿结构探讨了硅的凸角腐蚀补偿原理,设计了补偿版图,并在KOH腐蚀液中进行实验验证,获得了好的直角凸面补偿效果。

主 题 词：氢氧化钾 湿法腐蚀 凸角补偿 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-2279.2012.06.005

馆 藏 号：203803683...