TiNi合金薄膜的脉冲激光沉积制备与应用

作     者：祁恒 陈涛 左铁钏 

作者机构：北京工业大学激光工程研究院北京100022 

基　　金：国家自然科学基金重点资助项目(50335050) 

出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)

年 卷 期：2005年第3期

页      码：1-8页

摘      要：概述了三种TiNi合金薄膜的制备方法,其中重点阐述了脉冲激光沉积法,并详细介绍了TiNi合金薄膜作为微驱动元件在微流体控制系统和微操作系统中的应用。随着薄膜制备工艺和性能研究的发展,TiNi合金薄膜将在复合智能材料与结构、MEMS驱动和传感元件的设计与制造等方面具有更广阔的应用前景。

主 题 词：形状记忆合金 薄膜 脉冲激光沉积 微机电系统 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

馆 藏 号：203803740...