一种用于纳米计量的原子力显微镜测头的设计

作     者：卢明臻 高思田 金其海 崔建军 杜华 高宏堂 LU Ming-zhen;GAO Si-tian;JIN Qi-hai;CUI Jian-jun;DU Hua;GAO Hong-tang

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系北京100084 中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所北京100013 

基　　金：国家"十五"重大科技专项基金资助项目(No.2002BR906A26) 

出 版 物：《中国计量学院学报》 (Journal of China Jiliang University)

年 卷 期：2006年第17卷第3期

页      码：178-181页

摘      要：介绍了我们研制的一种高精度、具有计量学意义的原子力显微镜测头.该显微测头与其它部件协同工作在50 mm×50 mm×2 mm的测量范围内实现纳米级精度的测量.测头采用光束偏转法检测探针悬臂的微小偏移,由单模保偏光纤引入半导体激光作为光源.该测头安装有3个立体反射镜作为激光干涉仪的参考镜.样品与原子力显微镜测头的相对位置可以由激光干涉仪直接读数,可溯源到米国际定义及国家基准上.激光干涉仪的布置无阿贝误差.测头采用立体光路设计,结构紧凑.测头厚度小于20 mm,质量约200 g,却实现了100 mm的反射光程.使用该测头测得与量块表面的力-距离曲线,还测得标称高度300 nm SiO2台阶样板的图像,分辨率优于0.05 nm.

主 题 词：纳米计量 原子力显微镜 阿贝误差 光纤导入 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1540.2006.03.002

馆 藏 号：203804347...