基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计和制造

作     者：张卫平 陈文元 陈迪 吴校生 陈晓梅 徐正福 

作者机构：上海交通大学信息存储研究中心上海市200030 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2003年第14卷第5期

页      码：374-376页

摘      要：使用同步辐射光和 X射线掩模板的 L IGA技术能够制造大深宽比的三维微结构。详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造 ,包括微行星齿轮减速器的设计、微齿轮 X射线掩模板的 CAD技术、X射线深层光刻、微齿轮的微电铸和微复制 ,以及微行星齿轮减速器的微装配。目前已经得到了金属镍的厚度为 40 0μm的太阳轮、行星轮 ,厚度为 2 0 0μm的固定内齿轮、旋转内齿轮 ,其齿数分别为 1 5、1 1、3 6、3 9。用这些微齿轮装配成了一台模数为 0 .0 3 mm、减速比为 44.2、最大外径为 2 mm的微行星齿轮减速器 ,并将其成功地应用在直径为 2 mm的电磁型微马达上。

主 题 词：设计 制造 3K-2型微行星齿轮减速器 微齿轮 LIGA 电磁型微马达 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2003.05.005

馆 藏 号：203804352...