钛圆盘阵列增强微测辐射热计太赫兹波吸收特性

作     者：牛青辰 苟君 王军 蒋亚东 Niu Qing-Chen;Gou Jun;Wang Jun;Jiang Ya-Dong

作者机构：电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 

基　　金：国家自然科学基金(批准号:61875031) 国家自然科学基金创新研究群体科学基金(批准号:61421002)资助的课题~~ 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2019年第68卷第20期

页      码：292-300页

摘      要：提出一种集成在微桥结构中的二维亚波长周期钛(Ti)金属圆盘阵列结构,以增强太赫兹微测辐射热计的吸收率.基于严格耦合波分析方法,建立吸收结构模型,研究了不同结构的Ti圆盘阵列及其在微桥阵列结构中的太赫兹波吸收特性.周期Ti圆盘阵列结构降低了金属的表面等离子体频率,在太赫兹波段激发伪表面等离子体激元并实现共振增强吸收.共振吸收频率由周期、直径等Ti圆盘阵列的结构参数决定,圆盘厚度则对太赫兹波吸收率有重要影响,微桥结构中的谐振腔结构可降低共振频率并增强耦合效率.设计的微桥探测结构以较小的Ti圆盘阵列周期(37μm)实现突破衍射极限的太赫兹波约束,在3.5 THz (波长85.7μm)实现接近90%的太赫兹波吸收率,满足太赫兹微测辐射热计小尺寸、高吸收及工艺兼容的要求.

主 题 词：太赫兹 微测辐射热计 伪表面等离子体激元 严格耦合波分析 

学科分类：0809[工学-计算机类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0704[理学-天文学类] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.68.20190902

馆 藏 号：203805222...