恒压式微流量计的研制

作     者：张涤新 吕时良 李旺奎 刘强 余锡盘 

作者机构：兰州物理研究所 

出 版 物：《真空与低温》 (Vacuum and Cryogenics)

年 卷 期：1994年第13卷第4期

页      码：201-204,226页

摘      要：介绍了恒压式微流量计的设计原理和参数的选择方法，并给出了实验结果，流量测量范围为３．４９～１．９７×１０－５Ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２．２５％。该微流量计己用于动态流量法校准系统和低温泵的抽速测量之中。

主 题 词：气体微流量 测量 流量计 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

馆 藏 号：203808635...