改善CVD金刚石薄膜涂层刀具性能的工艺研究

作     者：胡如夫 孙方宏 HU Ru-fu;SUN Fang-hong

作者机构：宁波工程学院交通学院浙江宁波315016 上海交通大学机械与动力工程学院上海200030 

基　　金：宁波市青年/博士基金资助项目(2005A620018) 

出 版 物：《机械设计与研究》 (Machine Design And Research)

年 卷 期：2007年第23卷第1期

页      码：74-76,87页

摘      要：用热丝CVD法,以丙酮和氢气为碳源,在WC-Co硬质合金衬底上沉积金刚石薄膜,在分析了工艺条件(衬底温度、碳源浓度、反应压力)对金刚石薄膜性能的影响的基础上,提出了分步沉积法改善金刚石薄膜涂层刀具性能的新工艺。结果表明,合理控制工艺条件的新工艺对涂层薄膜质量、形貌和粗糙度、薄膜与衬底间的附着力、刀具的耐用度及切削性能有显著影响,对获取实用化的在硬质合金刀具基体上沉积高附着强度、低粗糙度金刚石薄膜的新技术具有重要的意义。

主 题 词：涂层刀具 金刚石薄膜 碳源浓度 衬底温度 反应压力 

学科分类：081203[081203] 08[工学] 0835[0835] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-2343.2007.01.020

馆 藏 号：203809212...