静电悬浮转子微陀螺微位移数字化电容检测通道设计

作     者：马高印 陈文元 张卫平 崔锋 王立奇 MA Gao-yin;CHEN Wen-yuan;ZHANG Wei-ping;CUI Feng;WANG Li-qi

作者机构：上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240 中国航天科技集团第九研究院13所北京100854 

基　　金：国家"十一五"预研基金(51030950806) 武器装备预研基金(9140A09020706JW0314) 

出 版 物：《中国惯性技术学报》 (Journal of Chinese Inertial Technology)

年 卷 期：2009年第17卷第6期

页      码：734-737页

摘      要：微位移检测是实现静电悬浮转子微陀螺闭环起支和稳定悬浮控制的重要前提。针对微陀螺轴向起支和悬浮的检测要求、特点及主要技术指标,设计了完整的电容式微位移检测通道。该通道主要由前置C/V转换、差动放大、四阶压控电压源有源带通滤波、相敏解调、四阶Butterworth低通滤波和16位A/D转换等环节组成,具有激励带宽大、检测精度高及数字化输出等特点。试验表明,检测通道的灵敏度为1.4V/pF,线性度为2.11%,微位移检测分辨力优于10nm,能够满足微陀螺轴向起支和稳定悬浮的检测要求。

主 题 词：微陀螺 静电悬浮 微位移 电容检测 

学科分类：08[工学] 081105[081105] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2009.06.012

馆 藏 号：203810287...