微型光学陀螺用光波导环形谐振腔的优化设计与制备

作     者：郭丽君 石邦任 厉宝增 赵猛 陈晨 GUO Li-jun;SHI Bang-ren;LI Bao-zeng;ZHAO Meng;CHEN Chen

作者机构：长春理工大学理学院吉林长春130022 

基　　金：总装预研基金项目(51409030205) 

出 版 物：《兵工学报》 (Acta Armamentarii)

年 卷 期：2010年第31卷第11期

页      码：1444-1447页

摘      要：光波导环形谐振腔是微型光学陀螺的核心敏感部件,其性能直接影响陀螺系统的性能,是此种陀螺设计和制造的关键。利用广角有限差分光束传播法(WA-BPM)对二氧化硅光波导环形谐振腔进行了优化设计;在优化设计的基础上,在硅衬底上利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备了掺GeO2的二氧化硅光波导环形谐振腔芯片,并通过了实验测试,其测量精细度可达16.7,可为今后集成光学陀螺的小型化和高灵敏度提供理论参考。

主 题 词：光学 集成光学 环形谐振腔 光波导 微型光学陀螺 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

馆 藏 号：203810670...