高精度物镜波纹管致动器的线性度分析

作     者：袁文全 巩岩 张巍 王学亮 倪明阳 赵磊 YUAN Wen-quan;GONG Yan;ZHANG Wei;WANG Xue-liang;NI Ming-yang;ZHAO Lei

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033 

基　　金：国家02专项基金(No.2009ZX02005)资助 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2011年第40卷第10期

页      码：1526-1530页

摘      要：采用有限元方法对高精度物镜波纹管致动器的几何非线性变形进行了分析,并引入线性度对波纹管致动器的性能进行了评估.通过有限元方法分析了常见的U型、S型、C型、方型及三角型波纹管的几何非线性变形,并结合最小二乘法,得到了上述各种波纹管致动器的行程及线性度.计算结果表明:在设计大行程波纹管致动器时,S型波纹管的线性度最好,为0.161%;而在设计小行程波纹管致动器时,三角形波纹管的线性度最好,为0.135%.

主 题 词：高精度物镜 气动 波纹管 几何非线性 有限单元法 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/gzxb20114010.1526

馆 藏 号：203811042...