显微干涉系统测量微细图形的台阶高度

作     者：薛实福 李庆祥 王伯雄 徐毓娴 于水 

作者机构：精密仪器与机械学系 

出 版 物：《清华大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期：1990年第30卷第5期

页      码：38-44,T007,8页

摘      要：介绍了显微干涉系统测量微细图形台阶高度的方法。从理论和设计角度分析了干涉条纹形状、间隔、对比度及稳定性，对该系统进行了实验，实验结果表明，对比度Ｋ＞０．８，测量精度优于８ｎｍ。

主 题 词：IC 台阶高度 显微干涉系统 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

馆 藏 号：203811673...