超声电机微纳驱动参数调节机构设计

作     者：徐从裕 孙雅琼 方文琼 罗洋 袁航周 Xu Congyu;Sun Yaqiong;Fang Wenqiong;Luo Yang;Yuan Hangzhou

作者机构：合肥工业大学合肥230009 

基　　金：中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2011HGZL0007) 安徽省自然科学基金资助项目(11040606M113) 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2013年第24卷第7期

页      码：886-889页

摘      要：为解决超声电机驱动轨迹及微行程纳米定位的可控问题,设计了一种基于双压电陶瓷驱动的调节机构,将双压电陶瓷驱动与超声电机驱动轨迹及微行程纳米定位控制关联起来,并利用ANSYSWorkbench有限元分析软件对调节机构进行了分析。通过对双压电陶瓷施加0～54V调节电压的实验,证实了调节机构能够使超声电机驱动头在x和y两个方向上获得所需的微纳米调节功能,调节范围为,x方向±1.2～±2.36μm,y方向±4.0μm,调节分辨率1～2nm,满足超声电机对驱动轨迹及微行程纳米定位的参数控制要求。

主 题 词：超声电机 驱动轨迹 压电陶瓷 调节机构 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0802[工学-机械学] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-132X.2013.07.008

馆 藏 号：203811794...