Al_2O_3-Cr多层中高温选择吸收薄膜的研究

作     者：潘永强 弥谦 杭凌侠 

作者机构：西安工业大学光电工程学院西安710032 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室西安710032 

基　　金：陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(12JS047) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2013年第33卷第3期

页      码：267-270页

摘      要：太阳能选择吸收薄膜是太阳能集热器的关键部分,本文提出基于Al2O3介质和金属Cr的多层结构的选择吸收膜系,首先采用电子束热蒸发在硅基底上沉积了单层Cr薄膜,通过椭偏仪测试并分析了Cr薄膜的光学常数。在此基础上分别设计了Al2O3-Cr四层和六层选择吸收膜系,比较了两种膜系的吸收率和发射率。其次,对六层结构的选择吸收膜系进行了允差分析,给出了最敏感层厚度相对误差为20%时,选择吸收膜的吸收率和发射率。最后,采用电子束热蒸发技术在玻璃基底上制备了六层结构的选择吸收膜,测试结果表明,该膜系在常温下的吸收率可以到达0.96,发射率为0.043。并通过计算给出了制备的六层选择吸收膜在100,200,300,400,500℃下的发射率分别为0.045,0.052,0.063,0.071和0.092。

主 题 词：太阳能选择吸收薄膜 电子束热蒸发 吸收率 发射率 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-7126.2013.03.15

馆 藏 号：203811863...