一种3自由度精密微定位平台的设计与分析

作     者：卢清华 黄世乾 

作者机构：佛山科学技术学院机械与电气工程学院广东佛山528000 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51105077) 广东省教育厅科技创新项目(2012KJCX0103) 

出 版 物：《机械设计与研究》 (Machine Design And Research)

年 卷 期：2014年第30卷第5期

页      码：56-59页

摘      要：高精度的微定位平台是精密定位技术研究的重要内容之一。采用柔顺机构作为微定位机构及压电陶瓷作为驱动器,设计了一种3自由度精密微定位平台。首先,对设计的微定位平台进行了理论分析,得出了该平台的理论输入与输出关系,同时确定了其行程范围。然后,采用ANSYS有限元方法对该平台在给定输入情况下的变形进行了分析,并对其输出位移进行了仿真。分析结果表明,设计的3自由度微定位平台理论分析结果和仿真分析结果基本吻合。最后,根据分析结果,制作了微定位平台样机。这种高精度的微定位平台在精密定位领域有着广泛的应用前景。

主 题 词：微定位平台 柔顺机构 3自由度 有限元分析 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.13952/j.cnki.jofmdr.2014.0138

馆 藏 号：203812627...