杠杆式尺蠖压电直线驱动器

作     者：马立 肖金涛 周莎莎 孙立宁 MA Li;XIAO Jin-tao;ZHOU Sha-sha;SUN Li-ning

作者机构：上海大学机电工程与自动化学院上海200072 苏州大学机器人与微系统研究中心江苏苏州215021 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.50905105) 上海市自然科学基金资助项目(No.13ZR1415800) 上海市教育委员会科研创新项目(No.14YZ008) 江苏省先进机器人技术重点实验室科研基金资助项目(No.JAR201304) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2015年第23卷第1期

页      码：184-190页

摘      要：设计了一种基于尺蠖运动原理的压电直线驱动器,用于解决光学领域中的精密定位问题。该驱动器采用了对称杠杆式位移放大机构,在保证钳紧力的同时,可以获得较大的驱动位移。阐述了尺蠖式压电驱动器的工作原理,对杠杆式柔性放大机构的位移损失、压电陶瓷与柔性机构的耦合特性及箝位机构与中间驱动机构的刚度进行了分析。利用有限元软件Ansys对钳位机构和驱动机构的变形、应力、输出位移和固有频率等参数进行了仿真分析。最后,搭建了实验平台,测试了驱动器的各项性能。测试结果显示,该驱动器的行程为±25mm,钳紧力为17N,承载力为11N,最大和最小步距分别为55μm和60nm。当驱动电压为150V时,驱动器的最高驱动速度为1.259mm/s。得到的性能指标满足光学领域精密定位需要。

主 题 词：尺蠖驱动器 柔性铰链 压电陶瓷 有限元分析 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/ope.20152301.0184

馆 藏 号：203812725...