光电显微镜的光学系统设计

作     者：王培芳 向阳 王继凯 王琪 WANG Peifang;XIANG Yang;WANG Jikai;WANG Qi

作者机构：长春理工大学光电工程学院长春130022 

出 版 物：《长春理工大学学报（自然科学版）》 (Journal of Changchun University of Science and Technology(Natural Science Edition))

年 卷 期：2015年第38卷第5期

页      码：17-21页

摘      要：光电显微镜具有很高的灵敏度,能够消除测量过程中的主观性,提高测量过程的自动化与准确度。为了提高光电显微镜的测量精度,本文采用物方远心的原理设计了一应用于比长仪的物方远心光电显微镜。设计结果:视放大倍率Γ=100倍,物方线视场2y=0.5mm,数值孔径NA=0.2,分辨率σ=1.68μm,工作距离28.5mm,光学系统波像差小于1/4λ,传递函数接近衍射极限。光电显微镜的光学测量误差小于0.7%。

主 题 词：光学设计 光电显微镜 放大倍率 比长仪 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-9870.2015.05.004

馆 藏 号：203817105...