基于LTCC工艺的数字三轴加速度传感器的研制

作     者：刘俊 郭虎岗 马喜宏 谭秋林 LIU Jun;GUO Hu-gang;MA Xi-hong;TAN Qiu-lin

作者机构：中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 

基　　金：国家"973"计划资助项目(513260301) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2008年第27卷第3期

页      码：80-82页

摘      要：将微机械加工工艺与混合集成技术相结合,设计并制作了具有RS422标准接口的数字三轴加速度传感器。采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺将敏感元件、信号调理电路、模数转换电路和接口电路集成于一体,集成后的体积为45mm×45mm×15mm,实现了传感器的数字化、小型化和模块化,并大大提高了系统的测量精度和可靠性。

主 题 词：数字传感器 加速度传感器 低温共烧陶瓷 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2008.03.025

馆 藏 号：203817106...