基于块匹配技术的ME MS器件平面微运动特性的测量

作     者：金翠云 栗大超 靳世久 王立坤 李一博 

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 

基　　金：国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2002AA404090) 

出 版 物：《吉林大学学报（工学版）》 (Journal of Jilin University:Engineering and Technology Edition)

年 卷 期：2004年第34卷第3期

页      码：445-448页

摘      要：为测量MEMS谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数,基于频闪成像原理得到了MEMS谐振器一个周期内各时刻的清晰运动图像,利用块匹配技术对MEMS谐振器的运动图像进行处理,从而得到其特性参数,为MEMS器件的设计提供重要参考。实验结果表明,该方法具有较好的测量精度,测量重复性达到40nm。

主 题 词：自动控制技术 MEMS谐振器 动态特性 频闪成像 块匹配 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0835[0835] 081002[081002] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-5497.2004.03.022

馆 藏 号：203817966...