基于高光谱成像芯片中布拉格反射镜的设计和制备

作     者：王天鹤 刘舒扬 张晨 贾晓东 Wang Tianhe;Liu Shuyang;Zhang Chen;Jia Xiaodong

作者机构：天津津航技术物理研究所 

基　　金：天津市自然科学基金青年项目(16JCQNJC02200) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2019年第48卷第10期

页      码：218-224页

摘      要：针对传统高光谱成像系统体积质量大、光机结构复杂、成本高等缺点,亟待微小型化的需求,开展高光谱成像芯片中布拉格反射镜设计和制备的研究,根据布拉格分布膜系理论开发的多层膜系结构的模拟器,并根据结构设计完成了5层和7层膜系布拉格反射镜的制作,利用可见/近红外分光光度计,对布拉格反射镜的反射率进行测量,与模拟器进行对比,由于布拉格镜的实际制备存在"瑕疵",导致误差≤3%,多层膜系结构模拟器可以指导实际布拉格反射镜的制备,为高光谱成像芯片化奠定基础。

主 题 词：高光谱成像芯片 布拉格反射镜设计 法珀腔多光束干涉 多层膜系结构 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0704[理学-天文学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/IRLA201948.1017003

馆 藏 号：203818570...