一种用于金刚石膜沉积装置的重入式微波谐振腔

作     者：李晓静 唐伟忠 高春雨 于盛旺 许恒志 胡浩林 LI Xiao-jing;TANG Wei-zhong;GAO Chun-yu;YU Sheng-wang;XU Heng-zhi;HU Hao-lin

作者机构：北京科技大学材料科学与工程学院北京100083 国家安全生产监督管理总局研究中心北京100713 

基　　金：高等学校博士学科点专项科研基金资助课题(No.20060008013) 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2010年第47卷第5期

页      码：9-12页

摘      要：微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)是制备高品质金刚石膜的重要方法,而MPCVD技术的关键是其设备核心部件谐振腔的设计。本文基于目前广泛应用的圆柱式和椭球式两种MPCVD谐振腔中微波传输的特点和其各自的优点,提出了一种重入式微波谐振腔的设计构想,并利用数值模拟的方法对这一构想进行了验证。模拟的结果表明,微波在重入式微波谐振腔内外壁之间的路径传输后,可在金刚石膜沉积台处形成一最强且相对均匀的电场。在相同的输入功率下,其形成的最大电场强度高于圆柱式和椭球式两种谐振腔时的情况。由于重入式的微波谐振腔具有结构简单、频率易于调节的优点,因而这一构想可为设计制造新型的MPCVD金刚石膜沉积设备提供参考依据。

主 题 词：重入式谐振腔 数值模拟 电场分布 金刚石膜 

学科分类：0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.2010.05.011

馆 藏 号：203819905...