基于真空镀膜技术的薄膜热传感器实验

作     者：罗潇 郭航 叶芳 马重芳 LUO Xiao;GUO Hang;YE Fang;MA Chongfang

作者机构：北京工业大学环境与能源工程学院传热强化与过程节能教育部重点实验室及传热与能源利用北京市重点实验室 

基　　金：国家自然科学基金项目(51476003) 

出 版 物：《化工学报》 (CIESC Journal)

年 卷 期：2019年第70卷第A2期

页      码：123-129页

摘      要：采用真空蒸发镀膜技术设计制作了以云母为基片的薄膜热传感器,传感器包括一个用于热流测量的热电堆和一个用于温度测量的热电偶。综合测试发现:云母基片薄膜热传感器性能良好。封装后,薄膜热电偶的静态标定拟合直线相关系数均可以达到0.999。薄膜热流计的静态标定拟合直线的相关系数为0.99439,测头系数为8.78886W/(m^2·μV),灵敏度为0.11378μV/(W/m^2)。薄膜热电偶的动态响应时间是0.446s且具有良好的复现性。随着加载热流的增大,薄膜热流计的动态响应时间变大,阶跃热流值为600W/m2时响应时间为0.483s。

主 题 词：膜 测量 瞬态响应 传热 燃料电池 

学科分类：080702[080702] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

核心收录：

D　O　I：10.11949/0438-1157.20190571

馆 藏 号：203820588...