多层薄膜微结构热应力计算

作     者：王锡明 王军军 周嘉 WANG Xi-ming;WANG Jun-jun;ZHOU Jia

作者机构：合肥学院机械系合肥230022 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室微电子学系上海200433 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60476032) 上海市自然科学基金资助项目(05ZR14015) 东南大学MEMS教育部重点实验室开放研究基金资助项目 

出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)

年 卷 期：2007年第2卷第2期

页      码：20-23页

摘      要：建立了以制作工艺为基础、适合多层薄膜微结构的热应力的计算公式。在Stoney方程相同的条件下,验证了所建模型的准确性。所建模型应用于多层微悬臂梁结构在残余应力作用下的形变计算,与实验测量结果的对比表明,误差在10%以内,说明所建模型具有非常好的实用性,可以为多层薄膜微结构设计和优化提供理论依据。

主 题 词：微机电系统 残余应力 模拟 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

馆 藏 号：203823279...