硅基微加工工艺滤波器的研究进展

作     者：万晶 汪峰 李琛 王霄 王嘉毅 阎跃鹏 梁晓新 WAN Jing;WANG Feng;LI Chen;WANG Xiao;WANG Jiayi;YAN Yuepeng;LIANG Xiaoxin

作者机构：中国科学院微电子研究所北京100029 中国科学院重大科技任务局北京100864 

出 版 物：《空间电子技术》 (Space Electronic Technology)

年 卷 期：2019年第16卷第5期

页      码：7-14页

摘      要：硅基滤波器在毫米波频段具有高Q值、低损耗、小体积、低成本的明显优势,并且易于与集成电路集成,是解决毫米波滤波器芯片化的绝佳手段。文章首先给出了硅基微加工工艺滤波器的设计方法分类,然后着重介绍近年来国内外硅基微加工工艺滤波器的五种不同设计方法:集总式、薄膜腔体型、带线型、自屏蔽型以及基片集成波导型。通过介绍各方法的工作原理,重点分析了各方法的研究现状及优缺点,并进行了综合对比分析,从加工工艺难度和性能上来看,自屏蔽型以及基片集成波导型硅基微加工工艺滤波器具有更大的发展空间和应用前景。

主 题 词：硅基片 微加工工艺 滤波器 毫米波 

学科分类：08[工学] 082501[082501] 0825[工学-环境科学与工程类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-7135.2019.05.002

馆 藏 号：203823310...