椭圆偏振法数据处理软件设计

作     者：黄佐华 吴雪忠 何振江 杨冠玲 

作者机构：华南师范大学物理与电信工程学院广东广州510631 

基　　金：广东省工业攻关项目(C60109) 

出 版 物：《大学物理》 (College Physics)

年 卷 期：2004年第23卷第9期

页      码：41-45页

摘      要：以C++Builder6.0为开发工具,成功设计和编制了一套椭偏法数据处理软件,它具有求解透明膜厚度、折射率和金属复折射率以及绘制(n,d)～(Ψ,Δ)列线图的功能,求解膜厚和折射率精度分别达到0.01nm和0.001.实验表明该软件的求解结果是准确和可靠的.

主 题 词：椭圆偏振术 椭偏仪 数据处理 软件 薄膜 

学科分类：08[工学] 0835[0835] 081202[081202] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.16854/j.cnki.1000-0712.2004.09.010

馆 藏 号：203823748...