基于MEMS技术的石蜡驱动气体微流量调节阀研究

作     者：王丰羽 杭观荣 王平阳 李林 WANG Feng-yu;HANG Guan-rong;WANG Ping-yang;LI Lin

作者机构：上海交通大学机械与动力工程学院上海200240 上海空间发动机工程技术研究中心上海空间推进研究所上海201112 

基　　金：上海市科学技术委员会资助课题(17DZ2280800) 

出 版 物：《节能技术》 (Energy Conservation Technology)

年 卷 期：2019年第37卷第5期

页      码：471-475页

摘      要：针对微纳卫星冷气推进系统和空间电推进系统变推力的任务需求,提出一种基于MEMS(微机电系统)技术的相变材料气体微流量调节阀设计方案以实现对推进工质的流量调节。利用MEMS加工工艺制得微致动器和微流量调节阀,通过表面轮廓仪测量微致动器调节膜片形变特性与输入电流的相互关系,通过间接法测量流经该调节阀的气体质量流量,结果表明:当输入电流小于12 mA,微致动器无明显形变,微阀气体流量无明显变化;当输入电流大于12 mA,微致动器形变明显增加,微阀气体流量显著减小;当输入电流大于48 mA,微致动器形变基本不变,微阀气体流量降至最低,接近关闭状态。因此气体微流量调节阀的有效工作电流区间为12~48 mA。

主 题 词：流量调节 微阀 微致动器 石蜡 微机电系统 

学科分类：080703[080703] 082502[082502] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 0825[工学-环境科学与工程类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-6339.2019.05.019

馆 藏 号：203824415...