LIGA技术制作Fresnel波带片的研究

作     者：洪义麟 田扬超 刘刚 付绍军 胡一贯 霍同林 陶晓明 阚娅 

作者机构：中国科学技术大学国家同步辐射实验室 

基　　金：攀登计划B资助 

出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)

年 卷 期：1999年第1期

页      码：62-67页

摘      要：简要介绍了利用ＬＩＧＡ技术中同步辐射光刻、微电铸技术制作α粒子编码成像波带片的研究，讨论了编码波带片的结构和影响波带片的平面和层析分辨率的参数。根据实验要求设计和研制了一种α粒子编码成像波带片。

主 题 词：波带片 LIGA 同步辐射 惯性约束聚变 

学科分类：08[工学] 082701[082701] 0827[工学-食品科学与工程类] 

馆 藏 号：203825909...