红外光刻机光学系统设计

作     者：陈仁康 

出 版 物：《上海光机》 

年 卷 期：1990年第3期

页      码：1-4页

主 题 词：红外光刻机 光学系统 设计 微电子 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203825928...