基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计

作     者：王巍 邹龙庆 徐华 李搏 贾培发 李垒 WANG Wei;ZOU Long-qing;XU HUA;LI Bo;JIA Pei-fa;LI Lei

作者机构：重庆邮电大学光电工程学院重庆南岸区400065 清华大学清华信息科学与技术国家实验室清华大学智能技术及系统国家重点实验室清华大学计算机科学与技术系北京海淀区100084 

基　　金：02号国家科技重大专项(2009ZX02001-003) 国家自然科学基金(60875073) 

出 版 物：《电子科技大学学报》 (Journal of University of Electronic Science and Technology of China)

年 卷 期：2012年第41卷第4期

页      码：599-604页

摘      要：设计实现了一个基于SEMI标准的半导体工艺设备仿真平台,该平台具有通用可配置特性。在该平台的基础上,构建了一套基于SEMI标准的气路功能仿真系统,该气路仿真系统包含了功能层、逻辑层和外部通信接口层,既能满足单独设备的功能仿真需求,也能对整个系统的功能进行仿真验证。该系统实现了对物理气相沉积(PVD)系统中,气路中阀门的闭合动作及气流变化等的实时仿真分析。

主 题 词：功能仿真 物理气相沉积系统 半导体工艺设备 SEMI标准 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 081203[081203] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0835[0835] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.024

馆 藏 号：203826913...