一种新结构介观压光型微加速度计

作     者：彭鹏 温廷敦 许丽萍 Peng Peng;Wen Tingdun;Xu Liping

作者机构：中北大学理学院山西太原030051 中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学微米纳米技术研究中心山西太原030051 

基　　金：国家自然科学基金(60776062 50730009) 国家自然科学基金仪器专项基金(61127015) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2014年第43卷第10期

页      码：3363-3367页

摘      要：对镜像异质三周期光子晶体的研究理论表明,在实际应用范围内,透射率与光子晶体所受的轴向应力呈简单的线性关系。据此,设计一种能实现微梁直拉直压的加速度计,微梁很小很敏感,处于轴向直拉直压位置时,能极大提高结构的灵敏度和自由振动频率。以镜像异质三光子晶体替代以往的压敏电阻,只需检测其透射率,即可得出加速度大小。最后结果表明:当透射光强改变1酃时,该结构可以感知小于0.4mgn的加速度的变化,测量量程可达3.2gn。

主 题 词：光子晶体 透射率 加速度计 直拉直压 灵敏度 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0704[理学-天文学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-2276.2014.10.034

馆 藏 号：203828045...