微压力传感器参数设计及灵敏度分析

作     者：郑玮玮 刘学观 赵光霞 ZHENG Wei-wei;LIU Xue-guan;ZHAO Guang-xia

作者机构：苏州大学电子信息学院江苏苏州215123 镇江高等专科学校电子与信息系江苏镇江212003 镇江高等职业技术学校机电工程系江苏镇江212016 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2011年第7期

页      码：15-17页

摘      要：对传感器的灵敏度理论进行了详细分析,得到了传感器的灵敏度与应力和应变的关系。通过有限元仿真软件对传感器的灵敏度和线性度进行了研究,分析了膜片的厚度、岛的高度和梁膜片的长度对传感器性能的影响,为传感器芯片的设计提供了重要的依据。

主 题 词：传感器 灵敏度 理论分析 参数仿真 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2011.07.005

馆 藏 号：203834891...