静电悬浮转子微陀螺五自由度位置检测研究

作     者：肖奇军 李胜勇 刘超英 黄伟 XIAO Qijun;LI Shengyong;LIU Chaoying;HUANG Wei

作者机构：广东肇庆学院电子信息与机电工程学院广东肇庆526061 厦门蒙发利科技集团福建厦门361009 

基　　金：广东省自然科学基金博启资助项目(S2011040001279) 肇庆学院科研基金资助项目(201207) 肇庆学院第四轮重点学科建设基金资助项目(801113) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2013年第35卷第4期

页      码：524-527页

摘      要：给出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的静电悬浮转子微陀螺,为了实现对静电悬浮转子微陀螺转子的五自由度(5-DOF)悬浮控制,需要对转子进行五自由度位置检测,首先介绍了微位移检测原理,提出了一种基于频分复用技术和开关解调技术的微位移检测方法,设计了基于直接数字频率合成(DDS)技术的多频率信号发生器、前置放大器及锁相放大器组成的位置测试系统,位移检测电路的各项性能指标能满足静电悬浮转子微陀螺的五自由度控制需要。

主 题 词：静电悬浮 微陀螺 五自由度 位置检测 

学科分类：1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 081105[081105] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0811[工学-水利类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2013.04.015

馆 藏 号：203834903...