紫外固化型聚合物高阶布拉格波导光栅滤波器

作     者：田亮 王辉 岳远斌 陈长鸣 张大明 

作者机构：吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室吉林长春130012 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.61107019) 吉林省科技发展计划资助项目(No.20110315) 中国博士后科学基金资助项目(No.2011M500597) 国家教育部博士点专项基金资助项目(No.20110061120054) 吉林大学基本科研业务费专项资金资助项目(No.201103071) 

出 版 物：《中国光学》 (Chinese Optics)

年 卷 期：2012年第5卷第6期

页      码：677-681页

摘      要：利用紫外固化材料SU-8 2005与热交联聚合物甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸缩水甘油酯[P(MMA-GMA)]分别作为波导芯层和包层材料,通过直接光刻技术,成功实现了厚度为5μm,宽度为9μm,光栅高度为4μm的起伏型高阶布拉格波导光栅滤波器。对光栅器件的谐振波长,光透射率等重要参数进行了模拟设计。测得制备的聚合物高阶布拉格波导光栅滤波器的谐振波长为1 550.4 nm,消光比为23 dB,3-dB带宽为2 nm。

主 题 词：紫外固化 聚合物 布拉格波导光栅 滤波器 

学科分类：070207[070207] 080901[080901] 07[理学] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3788/co.20120506.0677

馆 藏 号：203835154...