酒精蒸汽激光检测系统滤光器件的研制

作     者：付秀华 王野 刘冬梅 张静 张功 卢成 Fu Xiuhua;Wang Ye;Liu Dongmei;Zhang Jing;Zhang Gong;Lu Cheng

作者机构：长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 成都国泰真空设备有限公司四川成都610000 

基　　金：吉林省重大科技攻关专项(20190302095GX) 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2019年第46卷第11期

页      码：16-22页

摘      要：为提高酒精检测系统的信噪比,根据比尔-朗伯定律确定双通窄带滤光片的技术参数;根据技术参数在Si基底上采用双面拆分法设计窄带滤光片,建立折射率渐变模型确定反演系数,实现膜层的准确控制。采用真空室原位退火法提高膜层聚集密度,降低膜层应力,进而提高膜层附着力,稳定膜层光谱性能;制备的膜层能够满足在(1392±10)nm和1530~1570 nm波段透射率大于90%,400~1350 nm和1600~1800 nm波段透射率小于1%,在1410~1515 nm波段透射率小于30%的要求。

主 题 词：光学器件 光学薄膜 双通滤光膜 膜层敏感度 膜应力 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/CJL201946.1101003

馆 藏 号：203835713...