铝硅双金属驱动膜片形变方向控制及其结构参数的优化

作     者：庞江涛 战长青 谭智敏 钱欣 刘理天 李志坚 

作者机构：清华大学微电子学研究所 

基　　金：国家攀登计划B支持 

出 版 物：《功能材料与器件学报》 (Journal of Functional Materials and Devices)

年 卷 期：1998年第4卷第2期

页      码：95-100页

摘      要：对三种典型的铝硅双金属驱动膜片结构进行了有限元分析。结果表明，铝硅双金属驱动膜片的结构参数与驱动膜片的弯曲变形方向、中心最大挠度和有效形变体积具有紧密的联系。通过不同的结构设计可以控制驱动膜片结构的弯曲变形方向。另外，通过结构参数优化，可使驱动膜片的中心最大挠度和有效形变体积达到最大值，驱动膜片的性能得到显著提高。

主 题 词：微电子机械系统 微机械 微执行器 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 

馆 藏 号：203840999...